Perpustakaan berkualitas menyediakan informasi luas dengan fasilitas modern dan layanan yang prima. UPT Perpustakaan UIN Ar-Raniry Banda Aceh sebelumnya menghadapi berbagai kendala dalam layanannya, seperti: keterbatasan sarana prasarana, minimnya ruang baca, dan terbatasnya ketersediaan buku dalam format elektronik atau digital. Tujuan penelitian ini (1) Untuk mengetahui model benchmarking yang digunakan dalam peningkatan mutu layanan di UPT Perpustakaan UIN Ar-Raniry Banda Aceh, (2) Untuk mengetahui tahapan-tahapan pelaksanaan kegiatan benchmarking dalam peningkatan mutu layanan di UPT Perpustakaan UIN Ar-Raniry Banda Aceh. Metode penelitian yang digunakan adalah deskriptif kualitatif dengan subjek penelitian kepala perpustakaan, 2 pustakawan dan 5 pemustaka, tekhnik pengumpulan data menggunakan observasi, wawancara dan dokumentasi. Analisis data dilakukan dengan pengumpulan data, reduksi data, penyajian, penarikan kesimpulan dan dilakukan uji keabsahan data. Hasil penelitian menunjukkan (1) model benchmarking yang digunakan UPT Perpustakaan UIN Ar-Raniry Banda Aceh adalah model benchmarking eksternal, yang dilakukan dengan berkunjung ke National Library of Singapore, UIN Sunan Kalijaga Yogyakarta, dan UIN Raden Fatah Palembang. Melalui benchmarking ini, perpustakaan dapat mengadopsi berbagai inovasi, seperti layanan digital, peningkatan fasilitas, dan sistem otomasi perpustakaan. (2) Tahapan-tahapan Pelaksanaan Benchmarking dalam Peningkatan Mutu Layanan di UPT Perpustakaan UIN Ar-Raniry Banda Aceh dengan tahapan; (a) menentukan apa yang akan di-benchmark, (b) identifikasi pasangan benchmarking, (c) mengumpulkan informasi dari lembaga yang di benchmarking, (d) analisis setelah benchmarking dan (e) penerapan hasil benchmarking yang diperoleh.